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基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测
作者: 王云新   王大勇   赵洁   李艳   万玉红   来源: 光学学报 年份: 2011 文献类型 : 期刊 关键词: 相衬成像   全息术   无透镜傅里叶变换全息   三维成像   微光学元件  
描述: 针对微光学元件的三维面形检测,提出了利用数字全息显微(DHM)方法实现全视场、非接触式和非破坏性的快速三维定量相衬成像。首先构建了无透镜傅里叶变换数字全息装置,通过对获取的全息图进行单次快速傅里叶
连续微光学元件在光刻胶上的面形控制
作者: 曾红军   杜春雷   王永茹   白临波   邓启凌   陈波   郭履容   袁景和   来源: 光学学报 年份: 2000 文献类型 : 期刊 关键词: 连续微光学元件   光刻胶线性   倒易关系   面形控制  
描述: 介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造
灰阶编码掩模制作微光学元件
作者: 粟敬钦   姚军   杜惊雷   张怡霄   高福华   郭永康   崔铮   来源: 光学学报 年份: 2001 文献类型 : 期刊 关键词: 光刻   编码灰阶掩模   微光学元件  
描述: 提出一种基于改变灰阶编码掩模的单元形状和位置的掩模设计新方法 ,并根据成像过程中的非线性因素 ,用这种方法对掩模图形进行了预畸变校正。根据部分相干光成像理论和抗蚀剂曝光显影模型 ,模拟计算了这种灰阶编码掩模产生的空间光强分布和光刻胶上的浮雕结构。采用电子束曝光系统制作了这种掩模 ,并在光刻胶上获得具有连续面形的微透镜的阵列
制作连续沟形微光学元件的新方法
作者: 唐继跃   陈波   徐平   郭履容   来源: 光学学报 年份: 1997 文献类型 : 期刊 关键词: 光刻术   卤化银明胶   蛋白酶   微光学元件  
描述: 提出一种制作连续沟形微光学元件的新方法。用移动物面上二元图案的方法来获得连续灰度的记录,再用卤化银明胶处理技术,把灰度银像转化成明胶硬度潜像,最后采用酶蚀显影工艺把潜像显现为连续沟形的浮雕结构。文中给出了原理分析和实验验证,初步结果令人满意
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