• 站内检索
  • 发现检索
    全部 图书 期刊
首页>  根据【关键词:光刻术】搜索到相关结果 2 条
按文献类别分组
按栏目分组
按年份分组
按来源分组
关键词
制作连续沟形微光学元件的新方法
作者： 唐继跃   陈波   徐平   郭履容   来源： 光学学报 年份： 1997 文献类型 ： 期刊 关键词： 光刻术   卤化银明胶   蛋白酶   微光学元件  
描述： 提出一种制作连续沟形微光学元件的新方法。用移动物面上二元图案的方法来获得连续灰度的记录，再用卤化银明胶处理技术，把灰度银像转化成明胶硬度潜像，最后采用酶蚀显影工艺把潜像显现为连续沟形的浮雕结构。文中给出了原理分析和实验验证，初步结果令人满意
光刻全息图的蚀刻条件研究
作者： 郭永康   郭履容   张晓春   来源： 光学学报 年份： 1992 文献类型 ： 期刊 关键词： 全息光学元件   全息术   等离子蚀刻   光刻术  
描述： 本文提出发展蚀刻二元元件的工艺,其中最重要的是选择适当的蚀速比,它是制作具有连续厚度分布的浮雕型光刻全息图的关键,文中给出了反应功率一定时腐蚀气体流量和蚀刻速率的关系曲线,找到了合适的工作点,根据这些结果,制作成功性能优良的全息光学元件.
< 1
景德镇学院 图书馆

景德镇学院    地址：赣ICP备11017824号-4 / 赣ICP证130164号

Rss订阅