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- 深浮雕连续微光学元件制作方法
- 作者： 曾红军 陈波 郭履容 杜春雷 邱传凯 王永茹 潘丽 来源： 光电工程 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 蚀刻 微光学元件 连续深浮雕
- 描述： 提出一种连续深浮雕微光学元件的制作方法。在移动掩模的基础上经湿法显影获得光刻胶元件良好的面形 ,然后结合干法刻蚀将图形通过蚀速比放大的办法精密传递到石英片基上 ,从而使最终的元件达到设计的浮雕深度
- 湿法制作连续微透镜列阵新方法
- 作者： 罗红心 周礼书 杜春雷 来源： 光电工程 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 蚀刻 微透镜列阵 微光学元件
- 描述： 制作连续微透镜列阵中主要的问题就是浮雕的深度和浮雕面形的控制 ,已有的微透镜列阵制作方法不能很好地解决 ;本文提出了一种利用干法和湿法蚀刻结合在硅片上制作连续深浮雕微透镜列阵的新方法 ,得到了深度 40μm的微柱面和旋转抛物面微透镜列阵