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制作连续沟形微光学元件的新方法
作者: 唐继跃   陈波   徐平   郭履容   来源: 光学学报 年份: 1997 文献类型 : 期刊 关键词: 光刻术   卤化银明胶   蛋白酶   微光学元件  
描述: 提出一种制作连续沟形微光学元件的新方法。用移动物面上二元图案的方法来获得连续灰度的记录,再用卤化银明胶处理技术,把灰度银像转化成明胶硬度潜像,最后采用酶蚀显影工艺把潜像显现为连续沟形的浮雕结构。文中给出了原理分析和实验验证,初步结果令人满意
湿法刻蚀对全息微光学元件表面性质的影响
作者: 曾红军   郭履容   陈波   庞霖   来源: 大连理工大学学报 年份: 1997 文献类型 : 期刊 关键词: 显影液   自适应光学   “九五”国家科技攻关   国家重点实验室   湿法刻蚀   信息光学   微细加工   作用位点   表面性质   微光学元件  
描述: 湿法刻蚀对全息微光学元件表面性质的影响曾红军郭履容陈波庞霖(四川大学信息光学研究中心成都610064)浮雕型全息光学元件(HOE)在红外光学、自适应光学、光互联等领域有着广泛应用。全息记录材料曝光后,其潜像要经过显影等后处理(湿法刻蚀)才能获得浮雕。...
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