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关键词
连续微光学元件在光刻胶上的面形控制
作者： 曾红军   杜春雷   王永茹   白临波   邓启凌   陈波   郭履容   袁景和   来源： 光学学报 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 连续微光学元件   光刻胶线性   倒易关系   面形控制  
描述： 介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制作。本文还给出了实验验证 ,制作出了多种质量优良的连续微光学元件 ,并对典型元件的面形进行了评价。
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