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- 一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术
- 作者： 付光凯 曹益平 来源： 光电子·激光 年份： 2018 文献类型 ： 期刊 关键词： 清晰度评价函数 离焦量 浮雕轮廓术 正弦条纹 三维形貌测量 查找表
- 描述： 提出了一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术。采用5倍显微物镜,将正弦条纹通过投影仪从显微镜目镜瞳口处耦合投射到载物台上,按照一个合适的步长移动Z轴,用CCD采集一系列不同离焦量下的条纹图像,用variance清晰度评价函数计算清晰度与离焦量之间的归一化曲线图,由此建立清晰度与高度的查找表;然后,放入待测浮雕物体,用CCD采集对应的条纹图像,采用图像分割分解不同浮雕高度的区域,再计算各区域内条纹的清晰度,根据查找表查找相应的高度,从而得到待测浮雕物体不同区域的高度信息,以此来重构浮雕物体的三维形貌。实验仿真分析证明了该方法的可行性,硬币上数字为"0"的浮雕物体表面三维形貌重建结果证明了该方法的有效性,其误差范围在[-2μm,2μm]之间。