一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术

【类型】期刊

【作者】付光凯 曹益平 

【刊名】光电子·激光

【关键词】 清晰度评价函数 离焦量 浮雕轮廓术 正弦条纹 三维形貌测量 查找表

【资助项】国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA01Z333)；国家科技重大专项(2009ZX02204-008)资助项目

【摘要】提出了一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术。采用5倍显微物镜,将正弦条纹通过投影仪从显微镜目镜瞳口处耦合投射到载物台上,按照一个合适的步长移动Z轴,用CCD采集一系列不同离焦量下的条纹图像,用variance清晰度评价函数计算清晰度与离焦量之间的归一化曲线图,由此建立清晰度与高度的查找表;然后,放入待测浮雕物体,用CCD采集对应的条纹图像,采用图像分割分解不同浮雕高度的区域,再计算各区域内条纹的清晰度,根据查找表查找相应的高度,从而得到待测浮雕物体不同区域的高度信息,以此来重构浮雕物体的三维形貌。实验仿真分析证明了该方法的可行性,硬币上数字为"0"的浮雕物体表面三维形貌重建结果证明了该方法的有效性,其误差范围在[-2μm,2μm]之间。

【年份】2018

【期号】第8期

【页码】837-843

【作者单位】四川大学电子信息学院

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