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陶瓷工艺
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2009
(1)
按来源分组
微纳电子技术
(1)
关键词
数字灰度投影光刻技术
作者：
赵立新
严伟
王建
胡松
唐小萍
王肇志
王淑蓉
张正荣
张雨东
来源：
微纳电子技术
年份：
2009
文献类型 ：
期刊
关键词：
拼接
数字微镜器件
无掩模光刻
投影物镜
数字灰度光刻
描述：
随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字
灰度
无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字
灰度
投影光刻技术,结合电寻址数字微
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