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- 球面投影光刻物镜的设计
- 作者： 赵立新 张雨东 王建 戴云 高洪涛 董小春 饶学军 来源： 光电工程 年份： 2009 文献类型 ： 期刊 关键词： DMD 投影物镜 光学设计 球面光刻
- 描述： 针对人工晶体或隐形眼镜的面形上连续浮雕结构加工的特点,本文介绍了基于空间光调制器(DMD)曲面投影光刻物镜系统的设计方法。根据其成像面为曲面的特点,根据光学设计理论多次利用弯向物方的弯月形负透镜结构进行场曲校正,同时运用光的衍射原理优化设计物镜系统的数值孔径以消除DMD投影过程中的栅格效应。运用ZEMAX工程光学设计软件对系统进行了模拟、优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计实例利用上述设计原则给出了设计结果,工作波长为g线(峰值波长λ=436nm),像面曲率r=22.5mm,视场Ф6mm,数值孔径NA=0.1,分辨力为7.8μm(64lp/mm)时的光学调制传函值0.8,畸变
- 数字灰度投影光刻技术
- 作者： 赵立新 严伟 王建 胡松 唐小萍 王肇志 王淑蓉 张正荣 张雨东 来源： 微纳电子技术 年份： 2009 文献类型 ： 期刊 关键词： 拼接 数字微镜器件 无掩模光刻 投影物镜 数字灰度光刻
- 描述： 随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调制机理和投影成像特性;阐述了DMD微镜结构与投影系统的倍数、数值孔径的关系;设计了投影光刻系统,并进行了分辨力和三维面形的曝光实验。实验结果表明,数字灰度投影光刻技术灵活、方便,尤其在三维浮雕微结构的制作方面,可实现光刻灰度的数字化调制,表面粗糙度可达0.1μm。