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- 亚波长浮雕光栅的衍射和抗反射及增透研究
- 作者： 刘影 崔杰 姚国政 叶志成 来源： 光学学报 年份： 2016 文献类型 ： 期刊 关键词： 抗反射 光栅 衍射 增透 波导共振 亚波长光栅
- 描述： 研究了亚波长光栅的衍射对抗反射和增强透射性能的影响。理论分析表明,如果要达到抗反射和增强透射的双重效果,需要避免衍射引起的横向波导损耗,光栅周期要足够小;而如果只需要达到抗反射效果,可利用光栅衍射形成横向波导共振降低反射效率,此时光栅周期不需要很小。利用严格耦合波理论对周期、占空比及凹槽深度等结构参数进行优化。采用激光干涉光刻法制作了周期为290 nm的一维浮雕光栅,并测试其透射及反射光谱,结果表明这种结构在大角度范围内对可见光波段有明显的抗反射效果,但是只有波长在非衍射区才具有透射增强效果,而在衍射区透射降低。该研究实验和理论分析相一致,研究结果为根据应用要求合理选择光栅周期、降低制备工艺提供了清晰的物理图像和参考。
- 深刻蚀光栅的最新进展
- 作者： 暂无 来源： 中国科学基金 年份： 2007 文献类型 ： 期刊 关键词： 表面浮雕结构 深刻蚀 激光核聚变装置 刻蚀深度 偏振控制 衍射效率 光学器件 亚波长光栅
- 描述： 深刻蚀光栅是指亚波长光栅的表面浮雕结构达到一定的优化刻蚀深度,实现特定偏振衍射效率最大值或者偏振控制。光栅是重要的光学器件,在光谱仪、激光核聚变装置中广泛使用。以往的光栅大
- 二维亚波长抗反射光栅的制作及其特性分析
- 作者： 赵凤梅 刘守 张向苏 任雪畅 来源： 激光杂志 年份： 2009 文献类型 ： 期刊 关键词： 抗反射 等效介质理论 全息术 亚波长光栅
- 描述： 运用等效介质理论研究了占空比随深度变化的二维亚波长光栅的抗反射原理。对全息干涉法制得的正弦型光栅进行了详细分析,表明这类光栅形成了渐变折射率的抗反膜结构。设计并利用两束相干光对称入射到记录介质(光刻胶)分两次曝光的全息方法制备了适用于可见波段的周期为310nm的二维正交正弦型光栅。测试结果表明这种光栅在整个可见光波段具有增透作用,有潜力作为传统抗反膜的替代品。将具有浮雕结构的记录介质为母版并采用模压或浇铸等方法,可将结构复制到其它材料上。这类抗反射材料具有制作简单、成本低、可大批量生产等优点。