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2007
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中国科学基金
(1)
关键词
深刻蚀光栅的最新进展
作者：
暂无
来源：
中国科学基金
年份：
2007
文献类型 ：
期刊
关键词：
表面浮雕结构
深刻蚀
激光核聚变装置
刻蚀深度
偏振控制
衍射效率
光学器件
亚波长光栅
描述：
深刻蚀光栅是指亚波长光栅的表面浮雕结构达到一定的优化刻蚀深度,实现特定偏振衍射效率最大值或者偏振控制。光栅是重要的光学器件,在光谱仪、激光核聚变装置中广泛使用。以往的光栅大
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