- 站内检索
- 发现检索
全部
图书
期刊
按文献类别分组
关键词
- 128×128硅衍射微透镜阵列的设计与制备
- 作者： 李毅 易新建 蔡丽萍 陈思乡 曾晓雁 来源： 中国激光 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 红外焦平面 微透镜阵列 衍射光学
- 描述： 通过考虑互相关联的光学和工艺参数 ,设计了 3～ 5μm红外 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列。阵列中微透镜的孔径为 10 0μm,透镜 F数为 f / 1.5,微透镜阵列的中心距为 10 0μm。采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列。对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论 ,对制备出的 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量。