亚波长浮雕结构的红外抗反射研究

【类型】期刊

【作者】陈思乡 易新建 曾延安 陈四海 

【刊名】红外与毫米波学报

【关键词】 抗反射 二元光学 亚波长结构

【摘要】基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案 .测试结果表明 ,这种表面结构像单层抗反射膜一样 ,具有很好的增透效果 ,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率 ,而刻蚀深度则相当于镀层的 1/ 4波长厚度 .

【年份】2000

【期号】第6期

【页码】471-474

【作者单位】华中理工大学光电子工程系　　（430074）

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