128×128硅衍射微透镜阵列的设计与制备

【类型】期刊

【作者】李毅 易新建 蔡丽萍 陈思乡 曾晓雁 

【刊名】中国激光

【关键词】 红外焦平面 微透镜阵列 衍射光学

【资助项】国家高科技 863- 409直属主题项目

【摘要】通过考虑互相关联的光学和工艺参数 ,设计了 3～ 5μm红外 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列。阵列中微透镜的孔径为 10 0μm,透镜 F数为 f / 1.5,微透镜阵列的中心距为 10 0μm。采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列。对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论 ,对制备出的 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量。

【年份】2000

【期号】第6期

【页码】510-514

【作者单位】华中理工大学光电子工程系

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