- 站内检索
- 发现检索
全部
图书
期刊
- 基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制
- 作者： 吴娜 张善文 宋可平 巴音贺希格 齐向东 高键翔 来源： 光学精密工程 年份： 2009 文献类型 ： 期刊 关键词： 镀膜技术 head 加工工艺 分束光栅 pick light 精密刻划 光学头 up optical
- 描述： 给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法.采用光栅刻划机在金属膜上刻制占宽比为0.5的黑白光栅,并由黑白光栅翻制出制作光盘分束光栅的掩模版.通过掩模版对涂覆在K9玻璃基底上的光刻胶实施曝光和显影形成光刻胶矩形浮雕光栅,在理论设计的误差允许范围内,对此浮雕光栅沉积SiO2薄膜,去除残余光刻胶后得到SiO2矩形光栅母版,再经复制工艺制作了环氧树脂光盘分束光栅.测试结果表明,利用光盘分束光栅的纵向和横向加工误差的互补性,可以将光栅辅助光束与读写主光束强度之比的误差控制在±0.03之内.