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2014
(1)
按来源分组
中国科技博览
(1)
关键词
微电子二元光学器件制作工艺研究
作者：
文绍光
同军军
来源：
中国科技博览
年份：
2014
文献类型 ：
期刊
关键词：
二元光学器件
微电子
制作工艺
描述：
二元光学器件的基本制作工艺是超大规模集成电路中的微电子加工技术，但微电子加工属薄膜图形加工，主要控制的是二维的薄膜图形，而二元光学器件则是一种表面的三维浮雕结构，因为要同时控制平面图形的精细尺寸和纵向深度，所以其加工难度增大。
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