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倾斜角沉积技术制备ZnS双折射雕塑薄膜
作者: 王素梅   贺洪波   邵建达   范正修   来源: 中国激光 年份: 2005 文献类型 : 期刊 关键词: 薄膜   雕塑薄膜   双折射   倾斜角沉积  
描述: 使用倾斜角沉积(GLAD)的电子束蒸发技术,制备了倾斜角度在60°~85°之间的ZnS双折射雕塑薄膜(STF)。使用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)检测了ZnS薄膜的结晶状态和断面形貌,使用
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