首页>
根据【关键词:MOCVD】搜索到相关结果 1 条
-
MOCVD生长GaN薄膜的实时干涉曲线分析
-
作者：
李翠云
朱华
来源：
武汉理工大学学报
年份：
2005
文献类型 ：
期刊
关键词：
干涉曲线
反射率
粗糙度
MOCVD
-
描述：
金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)生長系統中通常用激光干涉曲線對材料生長進行實時監控。根據薄膜干涉原理，通過建立反射模型，對GaN薄膜的生長干涉曲線振幅的變化與其生長模式及表面粗糙度的關係進行了詳細的闡述和分析。結果表明：干涉曲線中的振幅會隨薄膜表面粗糙度的增大而衰減，其衰減程度與粗糙的變化快慢有關，根據材料的實時干涉曲線可揭示其在不同生長過程中的生長模式和定量分析樣品表面粗糙度。