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用MWECR CVD系统制备具有非晶/微晶两相结构的硅薄膜研究
作者:
谢耀江
胡跃辉
肖仁贤
陈光华
徐海军
陈义川
王立富
来源:
陶瓷学报
年份:
2010
文献类型 :
期刊
关键词:
非晶硅
微晶硅
MWECRCVD沉积系统
描述:
用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR CVD)系统制备了具有非晶/微晶两相结构的硅薄膜,研究了沉积温度和沉积压力等对制备微晶硅薄膜的结构和电学特性的影响。结果表明:较低的反应压和较高的衬底温度有利于获得非晶/微晶两相结构的硅薄膜,当反应压为0.7 Pa、衬底温度为170℃时,得到非晶/微晶两相结构的硅薄膜晶相体积比约为30%;具有这种晶相体积比的非晶/微晶两相结构的硅薄膜,μτ乘积值约为10-5量级左右,比不含微晶成分的氢化非晶硅样品的μτ乘积值大约2个量级,同时这种晶相体积比的非晶/微晶两相结构的硅薄膜的光敏性在103~104左右,其兼具很好的光电导稳定性和优良的光电特性,是制备非晶硅太阳电池的器件级本征层材料。
精彩、超值的搭配.爱乐者的最爱 CEC CD3800CD机、AMP3800合并机与ALR Jordan EntryL座地音箱
作者:
徐春笙
阿龙
来源:
中国电子商情:视听前线
年份:
2010
文献类型 :
期刊
关键词:
CEC
合并
功放
CD机
手工制作
高性价比
音箱
搭配
描述:
近日,在本刊试音室搭配出一套性价比很高,又好声的组合。那就是CECCD3800CD唱机和AMP3800合并机搭配上德国纯手工制作ALR Jordan EntryL座地音箱。其实我数年前曾经很仔细的听过CECCD3800的前一代产品CD3300。它充沛的力度,玲珑浮突的音像,以及它的高性价比都给我留下很深的印象。这次代理送来了新推出的CD3800CD唱机,还一并把新的合并功放AMP3800送过来与之搭配。
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