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陶瓷工艺
(1)
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2003
(1)
按来源分组
微细加工技术
(1)
关键词
AZ9260光刻胶制作连续非球面微透镜阵列的研究
作者：
张晓玉
姚汉民
杜春雷
潘丽
邱传凯
来源：
微细加工技术
年份：
2003
文献类型 ：
期刊
关键词：
AZ9260光刻胶
深浮雕
连续非球面微透镜阵列
面型控制
描述：
为解决研制深浮雕连续非球面微光学元件所面临的浮雕深度和面型控制这两大难点,选取吸收系数小的
AZ9260
正性光刻胶进行实验研究.提出了采用低温长时间前烘和连续升温后烘技术实现深浮雕结构和非球面
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