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期刊
(2)
按栏目分组
陶瓷工艺
(2)
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2001
(1)
2000
(1)
按来源分组
中国激光
(2)
关键词
128×128硅衍射微透镜阵列的设计与制备
作者：
李毅
易新建
蔡丽萍
陈思乡
曾晓雁
来源：
中国激光
年份：
2000
文献类型 ：
期刊
关键词：
红外焦平面
微透镜阵列
衍射光学
描述：
通过考虑互相关联的光学和工艺参数 ,设计了 3～ 5μm红外 12 8× 12 8硅衍射微透镜
阵列
。
阵列
中微透镜的孔径为 10 0μm,透镜 F数为 f / 1.5,微透镜
阵列
的中心距为 10 0
制作重铬酸盐明胶微光学元件的
作者：
庞霖
严瑛白
金国藩
邬敏贤
郭履容
陈波
来源：
中国激光
年份：
2001
文献类型 ：
期刊
关键词：
红外焦平面
微透镜阵列
衍射光学
描述：
从生物化学和蛋白质的裂解机制出发,提出一种新的重铬酸盐明胶(DCG)浮雕形成方法――化学裂解刻蚀法。由于化学裂解试剂较胰蛋白酶具有少得多的作用位点,化学裂解方法比明胶酶蚀方法具有更高的刻蚀分辨率。实验考察表明,化学裂解方法可以获得500lines/mm的刻蚀分辨率。应用化学裂解方法,利用投影曝光系统和灰度掩摸,制作了单元线宽为30μm,深度为0.8μm的连续浮雕明胶微棱镜列阵。
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