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- 误差扩散法设计用于惯性约束聚变驱动器的色分离光栅-光束采样光栅集成元件
- 作者： 张怡霄 姚欣 高福华 郭永康 来源： 光学学报 年份： 2007 文献类型 ： 期刊 关键词： 误差扩散 光束采样光栅(BSG) 灰阶编码 集成光学 色分离光栅(CSG) 惯性约束聚变驱动器
- 描述： 掩模的新方法。给出了利用误差扩散法设计的色分离光栅-光束采样光栅(CSG-BSG)集成元件编码掩模,模拟计算了经部分相干成像系统后的空间像光强分布,并与理想的集成元件面形进行了比较。结果表明,校正后均方差为7.5%,体积偏差为10.2%。