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倾斜沉积“雕塑”薄膜结构参数优化分析
作者： 齐红基   王晴云   肖秀娣   易葵   贺洪波   范正修   来源： 光学学报 年份： 2010 文献类型 ： 期刊 关键词： “雕塑”薄膜   模拟退火算法   倾斜沉积技术   结构参数提取   薄膜  
描述： 制备了氧化钽"雕塑"薄膜。借助于模拟退火算法,对入射角度为0,20°,30°,45°和60°时两种偏振态光波的透射光谱进行拟合,确定了氧化钽"雕塑"薄膜的结构参数,并与场发射扫描电镜测量的薄膜结构进行了比较。结果表明,利用透射光谱曲线可以较为准确地获得"雕塑"薄膜的结构参数。
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