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倾斜沉积“雕塑”薄膜结构参数优化分析
作者: 齐红基   王晴云   肖秀娣   易葵   贺洪波   范正修   来源: 光学学报 年份: 2010 文献类型 : 期刊 关键词: “雕塑”薄膜   模拟退火算法   倾斜沉积技术   结构参数提取   薄膜  
描述: 基于双轴双折射薄膜模型,利用在不同入射角度下薄膜对两种偏振态光波透射光谱,同时获得"雕塑"薄膜主轴折射率N1,N2,N3和薄膜厚度d及柱状角β等参数。基于倾斜沉积技术,利用电子束反应蒸发方法
倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展
作者: 肖秀娣   董国平   余华   范正修   贺洪波   邵建达   来源: 稀有金属材料与工程 年份: 2008 文献类型 : 期刊 关键词: 倾斜沉积   雕塑薄膜   各向异性  
描述: 倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜。雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的结构特征及影响因素,并阐述了其在光学领域的广泛应用前景。
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