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微系统领域的关键技术
作者: 章维一   侯丽雅   来源: 中国机械工程 年份: 2000 文献类型 : 期刊 关键词: 3维成形   微系统   空间运动机构   微作业  
描述: 6种3维成形法,并指出如何组合它们以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要.评述了微运动副的制造方法、带弹性变形件及柔性变形件的微机构设计原理和制造方法,并对它们的选择原则提出建议
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