微系统领域的关键技术

【类型】期刊

【作者】章维一 侯丽雅 

【刊名】中国机械工程

【关键词】 3维成形 微系统 空间运动机构 微作业

【资助项】国家科技攻关项目；江苏省社会发展基金

【摘要】评述微系统的3维成形、空间运动机构制作和微作业技术.提出了微系统的定义,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对上述3个技术的影响.评述了LIGA、DRIE、EDM、微浮雕、折叠法、RPM 6种3维成形法,并指出如何组合它们以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要.评述了微运动副的制造方法、带弹性变形件及柔性变形件的微机构设计原理和制造方法,并对它们的选择原则提出建议.评述了微物体在流体中的作业、微注射、狭窄空间中的作业、工作台-机器人系统上的微作业.提出了值得研究的若干课题群.

【年份】2000

【期号】第11期

【页码】113-120，8

【作者单位】南京理工大学

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