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- 基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法
- 作者： 刘鑫 张满 庞辉 史立芳 曹阿秀 邓启凌 来源： 光子学报 年份： 2016 文献类型 ： 期刊 关键词： 跨尺度兼容 纳米压印 批量化 低成本 衍射光学元件
- 描述： 针对大角度(大于50°)衍射光学元件低成本、批量化制备的需求,提出一种基于纳米压印技术的制备方法.首先利用光学曝光技术或电子束直写技术制备衍射元件的原始母板,然后将原始母板的结构通过纳米压印过程复制到压印胶上,完成衍射光学元件的制备.由于纳米压印母板可以多次重复使用,降低了制作成本,提高了效率.用该方法制备了不同特征尺寸(最小为250nm,衍射全角为70°)的衍射光学元件,具有良好的衍射效果,实现了对高深宽比浮雕结构的高保真复制.该技术可实现从微米到纳米跨尺度兼容的衍射光学元件的高保真、低成本、批量化制备.
- 菲涅耳型衍射光学元件的研究
- 作者： 杜春雷 郭履容 来源： 光子学报 年份： 1997 文献类型 ： 期刊 关键词： 菲涅耳型衍射光学元件 衍射效率
- 描述： 本文在衍射理论基础上深入分析了菲涅耳型衍射光学元件的特性,针对连续及二元浮雕结构,建立了位相深度因子,波长匹配系数与衍射效率的关系式,对影响衍射效率的因素进行了讨论,研究了设计与工艺的匹配问题,建立了数值孔径,最小特征尺寸与衍射效率的关系,为不同波段衍射光学元件的应用,及设计和评价衍射光学元件提供了有效的理论方法,本文最后举例分析了用于白光波前传感器中的小数值孔径微透镜列阵的性能,并对衍射效率及传