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等离子体蚀刻
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陶瓷工艺
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1993
(1)
按来源分组
激光杂志
(1)
关键词
用等离子体蚀刻法提高浮雕全息光栅的衍射效率
作者：
张晓春
江朝川
郭履容
来源：
激光杂志
年份：
1993
文献类型 ：
期刊
关键词：
等离子体蚀刻
衍射效率
浮雕全息光栅
描述：
本文提出了用等离子体蚀刻法提高浮雕全息光栅衍射效率的原理和方法.从光致抗蚀剂层蚀刻到Si3N4薄膜层的光栅衍射效率已达31.2％,比原版光致抗蚀剂层母光栅的衍射效率提高了2.5倍。这种方法可制作优质的浮雕薄膜光栅。
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