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JZH-900型钛金镀膜机研制成功
作者: 张万程   来源: 真空 年份: 1985 文献类型 : 期刊 关键词: 磁控溅射镀膜   氮化钛   膜工艺   仿金镀   研制成功   真空设备   同轴磁控溅射   氨化钛   装饰膜层   镀膜机  
描述: 锦州真空设备厂研制的JZH-900型钛金镀膜机,及其磁控溅射氮化钛陶瓷仿金镀膜工艺,于1984年12月18日至19日通过了技术鉴定。 JZH—900型钛金镀膜机是国内第一台活性反应同轴磁控溅射氮化钛
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