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- 基于数字微镜器件的激光光刻技术①
- 作者： 王佳荣 韩太林 冯驰 来源： 科技资讯 年份： 2017 文献类型 ： 期刊 关键词： 灰度光刻 数字光刻 数字微镜器件(DMD) 微立体光刻
- 描述： 数字微镜器件(Digital Micro-mirror Device,DMD)作为数字光处理技术(Digital Light Processing,DLP)的核心,可通过控制其反射微镜的偏转实现全数字化成像。基于DMD的数字光刻系统采用动态数字掩模的曝光方式,分辨率高、速度快、加工面积大,可用于制作复杂三维结构和表面浮雕结构。本文阐述了DMD的基本结构和工作原理,分析了其灰度调理机制和投影成像特性,介绍了基于DMD的数字光刻技术的两个重要研究方向:灰度光刻技术和微立体光刻技术,具体探讨了DMD在两种技术中的应用。