基于数字微镜器件的激光光刻技术^①

【类型】期刊

【作者】王佳荣 韩太林 冯驰 

【刊名】科技资讯

【关键词】 灰度光刻 数字光刻 数字微镜器件(DMD) 微立体光刻

【资助项】吉林省科技发展计划项目(项目编号:20150204015gx)

【摘要】数字微镜器件(Digital Micro-mirror Device,DMD)作为数字光处理技术(Digital Light Processing,DLP)的核心,可通过控制其反射微镜的偏转实现全数字化成像。基于DMD的数字光刻系统采用动态数字掩模的曝光方式,分辨率高、速度快、加工面积大,可用于制作复杂三维结构和表面浮雕结构。本文阐述了DMD的基本结构和工作原理,分析了其灰度调理机制和投影成像特性,介绍了基于DMD的数字光刻技术的两个重要研究方向:灰度光刻技术和微立体光刻技术,具体探讨了DMD在两种技术中的应用。

【年份】2017

【期号】第29期

【页码】60-62

【作者单位】长春理工大学电子信息工程学院；长春理工大学理学院

【全文挂接】获取全文