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2004
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物理学报
(1)
关键词
MWECR CVD等离子体系统梯度磁场对沉积a-Si:H薄膜特性研究
作者：
胡跃辉
阴生毅
陈光华
吴越颖
周小明
周健儿
王青
张文理
来源：
物理学报
年份：
2004
文献类型 ：
期刊
关键词：
洛伦兹拟合
a
CVD系统
梯度磁场
Si:H薄膜
MWECR
描述：
了三种磁场形貌的磁场
梯度
.研究了磁场
梯度
对沉积a-Si:H薄膜性能的影响.研究表明:在衬底附近,高的磁场
梯度
可以获得高的沉积速率;在温度不很高时,高的磁场
梯度
可得到光敏性较好的a-Si:H薄膜.
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