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连续微浮雕面形控制的新方法
作者: 董小春   杜春雷   王长涛   来源: 激光与光电子学进展 年份: 2005 文献类型 : 期刊 关键词: 壁垒效应   光刻模型   面形控制   微光学元件  
描述: 曲线面形控 制技术。该方法克服了抗蚀剂显影模型精度以及显影不稳定性对浮雕面形的影响,使光刻胶上微结构浮雕深度超过 100μm,面形均方根误差小于1μm。
材料科技
作者: 暂无 来源: 中外建筑 年份: 2005 文献类型 : 期刊 关键词: 建筑材料工业   工艺优化   煤系高岭土   二代微光像增强器   科学技术奖   陶瓷砖   硅酸盐   生产工艺技术   低辐射玻璃   超薄浮法玻璃  
描述: 浮法玻璃生产工艺技术及产品开发、超二代微光像增强器用高性能输入窗、大规格陶瓷砖生产关键设备与工艺技术的开发应用、浮法玻璃生产过程检测、监控与在线低辐射玻璃工业化生产技术开发、玻璃微纤维滤除白细胞输血器技术
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