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用于并行激光直写的连续深浮雕衍射透镜阵列研究
作者: 单明广   郭黎利   钟志   来源: 光子学报 年份: 2009 文献类型 : 期刊 关键词: 深浮雕   并行激光直写   衍射效率   连续浮雕衍射透镜  
描述: 研究了一种用于并行激光直写的连续深浮雕衍射透镜阵列方法.该方法采用连续浮雕衍射透镜阵列替换传统并行激光直写中的物镜阵列,在兼顾系统分辨力基础上,克服了波带片等衍射透镜阵列衍射效率低的缺点;同时因采用
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