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- GaAs(100)面光栅皱折的形成
- 作者： 刘枝伍 曹根娣 来源： 中国激光杂志 年份： 1981 文献类型 ： 期刊 关键词： 暗条纹 刻蚀技术 掩模 光致抗蚀剂 轮廓控制 图形转换 全息干涉 激光束 化学腐蚀 离子刻蚀
- 描述： 使用光致抗蚀剂的全息干涉曝光、显影方法在GaAs(100)面衬底上形成光致抗蚀剂光栅图形.采用选择化学腐蚀将光致抗蚀剂光栅浮雕图形转换到GaAs(100)面衬底上.已成功地在GaAs(100)面衬底上制作了周期为0.33微米的光栅皱折.在GaAs(100)面上的光栅皱折具有良好的V-形沟槽轮廓.
- 先进的装配连接技术在航空制造领域的应用分析
- 作者： 陈先有 崔晶 来源： 机械制造 年份： 2007 文献类型 ： 期刊 关键词： 复合材料连接 电磁铆接 干涉配合 自动钻铆 胶接
- 描述： 介绍了自动钻铆技术、电磁铆接技术和复合材料干涉配合连接等技术的基本原理,并简单分析了这些技术在航空领域的应用.
- 异形滚头成型鱼盘的干涉问题
- 作者： 柯恩九 来源： 中国陶瓷 年份： 1987 文献类型 ： 期刊 关键词： 数学模型 滚压成型 滚头 接触线 坯体成型 异形 干涉问题 方程 鱼盘 修正
- 描述： 本文以较精确的数学模型,并应用计算机进行干涉的计算,发现当滚压速比为1时仍可能有干涉发生(有时还会有严重的干涉)。
- 光电集成与器件
- 作者： 暂无 来源： 中国光学与应用光学文摘 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 制作技术 波导光栅 器件 导波光 光折变效应 电子科技大学 条形波导 非线性光波导 光电子技术 光干涉
- 描述： 大学光电子技术系.四川,成都(610054))//光学学报.-1999,19(7).-909-914提出一种新的波导光折变功能光栅制作技术,利用导波光与空间光干涉,在Ti:LiNbO_3条形波导中通过光折变效应形成波导功能光栅。该方法也适用制作浮雕型波导光栅。用该方法,可制备周期小于二分之一光波长
- 菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析
- 作者： 邹文栋 刘佳 王星星 江茂清 龚勇清 来源： 光学精密工程 年份： 2013 文献类型 ： 期刊 关键词： 芯模 加工误差 三维形貌 菲涅耳波带板 菲涅耳微透镜 扫描白光干涉术
- 描述： 采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度
- 位相型全息记录介质的浮雕深度和折射率变化的测量方法
- 作者： 张晓春 郭永康 郭履容 徐平 来源： 光学学报 年份： 1993 文献类型 ： 期刊 关键词： 全息记录介质 折射率调制 干涉测量 浮雕深度
- 描述： 本文提出了一种直接测量位相型全息记录介质的浮雕深度和折射率改变量的方法,它利用干涉显微镜及带CCD摄像头的微机组成的简单系统,可获得很高的测量精度.本文分析了测量误差以及为使系统保持最高测量精度而应选取的最佳测量条件.
- 13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计
- 作者： 朱伟忠 吴衍青 陈敏 王纳秀 邰仁忠 徐洪杰 来源： 光学学报 年份： 2008 文献类型 ： 期刊 关键词： 复折射率 严格耦合波方法 衍射效率 软X射线透射光栅 干涉光刻
- 描述： ,在此波段处,Si3N4、Cr、Au浮雕的相位作用对光栅衍射起重要影响,其中非金属材料Si3N4比金属材料Cr、Au的相位作用更明显。最后优化得到了用Si(或Si3N4)做衬底的Si3N4、Cr、Au光栅,分析结果显示,其一级衍射效率优于目前用于13.4 nm软X射线干涉光刻的Cr、Si3N4复合光栅。
- 用全息干涉及浮雕技术研制网格板的方法探讨
- 作者： 唐玲 罗文碧 来源： 光子学报 年份： 1987 文献类型 ： 期刊 关键词： 方法探讨 微透镜 性能指标 振幅全息图 高速摄影机 全息干涉 摄影技术 成象质量 光干涉 网格板
- 描述： 网格板是网格摄影中起象分解作用的关键器件,它对网格高速摄影机的各项性能指标均有影响,因此,探索网格板制作的工艺、方法及发展成象质量优良的网格板,对推广网格摄影技术的应用具有重要意义。