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酶蚀卤化银明胶制作连续微结构
作者: 彭钦军   郭永康   刘世杰   朱建华   曾阳素   陈波   来源: 中国激光杂志 年份: 2003 文献类型 : 期刊 关键词: 实时掩模   光化学   连续微结构   蛋白酶刻蚀   卤化银明胶  
描述: ,并提出了解决方案和优化工艺参数,通过实验得到在刻蚀深度为4 μm范围内有良好的线性关系,最后成功制作了良好面形的微柱透镜列阵.
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