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陶瓷工艺
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2003
(1)
按来源分组
中国激光杂志
(1)
关键词
酶蚀卤化银明胶制作连续微结构
作者：
彭钦军
郭永康
刘世杰
朱建华
曾阳素
陈波
来源：
中国激光杂志
年份：
2003
文献类型 ：
期刊
关键词：
实时掩模
光化学
连续微结构
蛋白酶刻蚀
卤化银明胶
描述：
,并提出了解决方案和优化工艺参数,通过
实验
得到在刻蚀深度为4 μm范围内有良好的线性关系,最后成功制作了良好面形的微柱透镜列阵.
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