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关键词
酶蚀卤化银明胶制作连续微结构
作者： 彭钦军   郭永康   刘世杰   朱建华   曾阳素   陈波   来源： 中国激光杂志 年份： 2003 文献类型 ： 期刊 关键词： 实时掩模   光化学   连续微结构   蛋白酶刻蚀   卤化银明胶  
描述： 提出酶蚀卤化银明胶制作连续深浮雕微结构的新方法.给出了卤化银明胶酶蚀成像原理和深刻蚀过程机理的理论分析.求得存在吸收时,刻蚀深度与曝光量关系的解析式.表明胶膜对光的吸收是造成其非线性关系的主要原因,并提出了解决方案和优化工艺参数,通过实验得到在刻蚀深度为4 μm范围内有良好的线性关系,最后成功制作了良好面形的微柱透镜列阵.
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