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陶瓷工艺
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2008
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稀有金属材料与工程
(1)
关键词
倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展
作者：
肖秀娣
董国平
余华
范正修
贺洪波
邵建达
来源：
稀有金属材料与工程
年份：
2008
文献类型 ：
期刊
关键词：
倾斜沉积
雕塑薄膜
各向异性
描述：
倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜。雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的结构特征及影响因素,并阐述了其在光学领域的广泛应用前景。
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