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陶瓷历史
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1988
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南昌大学学报(理科版)
(1)
关键词
硅材料双吸杂技术的研究
作者：
程福生
叶安祚
来源：
南昌大学学报(理科版)
年份：
1988
文献类型 ：
期刊
关键词：
吸杂技术
晶体
工艺步骤
电活性
二次缺陷
受主杂质
工艺流程
溶解度
微缺陷
硅材料
描述：
引言为了提高硅材料质量,有效提取晶体中有害杂质、减少晶体中微缺陷或降低微缺陷的电活性,抑制工艺流程中难免会引入的沾污以及二次缺陷的形成,这里介绍如下一种“双重吸杂技术”,其具体工艺步骤如下:
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