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陶瓷工艺
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2003
(1)
按来源分组
微纳电子技术
(1)
关键词
微透镜列阵光刻工艺过程的模拟与分析
作者：
董小春
杜春雷
陈波
潘丽
来源：
微纳电子技术
年份：
2003
文献类型 ：
期刊
关键词：
数学模型
光刻工艺
微透镜列阵
描述：
建立了连续深浮雕微透镜列阵光
刻工
艺的数学模型,通过计算机仿真实现了对工艺过程的模拟分析。为刻蚀过程中各参量的选取和刻蚀结果的分析提供了可靠的依据,对整个光
刻工
艺过程具有指导意义。
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