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溅射功率对PET柔性衬底上制备ZnO: Ga薄膜的影响
作者: 徐承章   胡跃辉   陈义川   胡克艳   范建斌   郭胜利   来源: 陶瓷学报 年份: 2016 文献类型 : 期刊 关键词: 内应力   溅射功率   ZnO薄膜   聚对苯二甲酸乙二酯(PET)  
描述: 在室温条件下,通过射频磁控溅射法在柔性衬底PET上制备ZnO:Ga(GZO)透明导电薄膜。主要研究了溅射功率对薄膜结构、内应力、光学和电学性能的影响,并对样品进行了相关测试。XRD测试表明GZO薄膜
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