溅射功率对PET柔性衬底上制备ZnO: Ga薄膜的影响

【类型】期刊

【作者】徐承章 胡跃辉 陈义川 胡克艳 范建斌 郭胜利 

【刊名】陶瓷学报

【关键词】 内应力 溅射功率 ZnO薄膜 聚对苯二甲酸乙二酯(PET)

【资助项】国家自然基金项目(61066003)；江西省自然基金资助项目(20111bab202005，20132bab202001)

【摘要】在室温条件下,通过射频磁控溅射法在柔性衬底PET上制备ZnO:Ga（GZO）透明导电薄膜。主要研究了溅射功率对薄膜结构、内应力、光学和电学性能的影响,并对样品进行了相关测试。XRD测试表明GZO薄膜具有六角纤维矿结构的同时具有良好的C轴择优取向生长,但是衍射角出现明显偏移,表明薄膜内部存在较大应力;SEM测试显示薄膜表面晶粒具有良好的均匀均性和致密性,随着溅射功率增加,晶粒尺寸按照一定规律变化。薄膜的平均透过率在85%左右,电阻率最低达到7.1×10-3?·cm。

【年份】2016

【期号】第2期

【页码】152-157

【作者单位】景德镇陶瓷大学机械电子工程学院

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