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- 全息光刻-离子束刻蚀制作磁性亚微米结构
- 作者： 张自军 徐向东 刘颖 邱克强 付绍军 洪义麟 郭玉献 徐鹏寿 蔡建旺 来源： 真空科学与技术学报 年份： 2008 文献类型 ： 期刊 关键词： 垂直驻波 磁性微结构 全息光刻 光刻胶灰化
- 描述： 激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中,基底材料具有高反射率,由于垂直驻波的影响,光刻胶浮雕图形侧壁产生束腰,本文将O2反应离子刻蚀引入到制作工艺中,对光刻胶图形进行修正,获得了很好的效果,具有工艺简单、可控性好等特点。以50nm厚的由磁控溅射生长的Ta/Co0.9Fe0.1/Ta薄膜为基底,采用激光干涉光刻结合离子束刻蚀转移图形的方式,制作出了特征尺寸为330nm Co0.9Fe0.1亚微米周期结构,并采用SQUID的技术对其磁滞回线进行了研究。