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用衍射效率比测浮雕矩形光栅参量
作者： 陈唐荣   赵艮春   戴文海   庄其仁   来源： 华侨大学学报(自然科学版) 年份： 2012 文献类型 ： 期刊 关键词： 衍射效率比   衍射光强比   矩形光栅   激光衍射   光栅参数  
描述： 石英离子刻蚀矩形光栅进行测量,从实验上验证测量方法的正确性.研究结果表明:通过测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,可反演出矩形光栅刻槽深度和塑料光栅材料的折射率,所测量光栅刻槽深度和折射率的误差均小于1%.
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