用衍射效率比测浮雕矩形光栅参量

【类型】期刊

【作者】陈唐荣 赵艮春 戴文海 庄其仁  

【刊名】华侨大学学报(自然科学版)

【关键词】 衍射效率比 衍射光强比 矩形光栅 激光衍射 光栅参数

【资助项】福建省自然科学基金资助项目　　（A0410019,A0710012）；福建省科技计划项目　　（2007H0026）

【摘要】基于矩形光栅的标量衍射效率公式,提出一种根据0级和1级衍射效率比来测量浮雕矩形光栅的刻槽深度和折射率的方法,并对衍射效率与刻槽深度和入射角的关系进行分析.对刻槽深度分别为2.90,1.01μm的熔石英离子刻蚀矩形光栅进行测量,从实验上验证测量方法的正确性.研究结果表明:通过测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,可反演出矩形光栅刻槽深度和塑料光栅材料的折射率,所测量光栅刻槽深度和折射率的误差均小于1%.

【年份】2012

【期号】第3期

【页码】251-254

【作者单位】华侨大学信息科学与工程学院

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