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- 13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计
- 作者： 朱伟忠 吴衍青 陈敏 王纳秀 邰仁忠 徐洪杰 来源： 光学学报 年份： 2008 文献类型 ： 期刊 关键词： 复折射率 严格耦合波方法 衍射效率 软X射线透射光栅 干涉光刻
- 描述： 基于严格的矢量耦合波方法,结合纳米级光栅实际制作工艺,定量分析了在13.4 nm软X射线(TE偏振)正入射条件下,光栅材料、厚度、占空比、梯形浮雕底角大小等因素对光栅一级衍射效率的影响。结果表明
- 基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析
- 作者： 孔伟金 云茂金 孙欣 刘均海 范正修 邵建达 来源： 物理学报 年份： 2008 文献类型 ： 期刊 关键词： 严格耦合波理论 多层介质膜光栅 衍射效率
- 描述： 基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的介质膜光栅
- 线偏振高斯光束通过复合型衍射光栅的传输特性
- 作者： 李建龙 吕百达 来源： 物理学报 年份： 2008 文献类型 ： 期刊 关键词： 复合型衍射光栅 严格模式理论 高斯光束 亚波长体积相位全息光栅
- 描述： 提出一种集合浮雕和折射率周期分布调制的复合型衍射光栅,并利用角谱表示和严格的模式理论研究了线偏振高斯光束通过这种复合型衍射光栅的传输特性.数值计算结果表明,在光栅的同一透射深度处复合型衍射光栅光强