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关键词
基于射频放电一维模型的等离子体诊断
作者：
张百灵
樊昊
李益文
阳鹏宇
高岭
王宇天
来源：
高电压技术
年份：
2015
文献类型 ：
期刊
关键词：
一维模型
磁流体
等离子体诊断
电导率
电子数密度
电容耦合射频放电
描述：
读取电压电流幅值及相位角;同轴电缆的容性作用对射频放电电路结构有很大影响;在压力P=
1
500 Pa,放电频率f=6.2 MHz的静止条件下,电容耦合射频放电等离子体的电导率约为4×10-3 S/m
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