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- 微系统领域的关键技术
- 作者： 章维一 侯丽雅 来源： 中国机械工程 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 3维成形 微系统 空间运动机构 微作业
- 描述： 评述微系统的3维成形、空间运动机构制作和微作业技术.提出了微系统的定义,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对上述3个技术的影响.评述了LIGA、DRIE、EDM、微浮雕、折叠法、RPM 6种3维成形法,并指出如何组合它们以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要.评述了微运动副的制造方法、带弹性变形件及柔性变形件的微机构设计原理和制造方法,并对它们的选择原则提出建议.评述了微物体在流体中的作业、微注射、狭窄空间中的作业、工作台-机器人系统上的微作业.提出了值得研究的若干课题群.