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衍射效率比
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陶瓷工艺
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2012
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华侨大学学报(自然科学版)
(1)
关键词
用衍射效率比测浮雕矩形光栅参量
作者：
陈唐荣
赵艮春
戴文海
庄其仁
来源：
华侨大学学报(自然科学版)
年份：
2012
文献类型 ：
期刊
关键词：
衍射效率比
衍射光强比
矩形光栅
激光衍射
光栅参数
描述：
基于矩形光栅的标量衍射效率公式,提出一种根据0级和
1
级衍射效率比来测量浮雕矩形光栅的刻槽深度和折射率的方法,并对衍射效率与刻槽深度和入射角的关系进行分析.对刻槽深度分别为2.90,1.01μm的熔
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