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浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法
作者: 刘荣祁   陈建荣   林宝卿   庄其仁   来源: 应用激光 年份: 2009 文献类型 : 期刊 关键词: 衍射测量   刻槽深度   浮雕矩形光栅  
描述: 当激光束投射在浮雕光栅上,透过光栅的衍射光斑就反映了浮雕光栅的表面信息。提出一种浮雕矩形光栅刻槽深度的高精度衍射测量方法。分别采用两个激光波长垂直入射光栅表面,测量透过光栅的0级和1级衍射光强
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